[发明专利]利用两个位移脉冲来测试或测量电气元件之方法及系统无效
| 申请号： | 200680004084.X | 申请日： | 2006-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101116002A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多弗·沃彻;皮耶尔·班奈奇 | 申请（专利权）人： | 法商柏奈德公司 |
| 主分类号： | G01R31/308 | 分类号： | G01R31/308;G01R31/305 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 法国波*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种为以测试或测量电气元件(2－1)之方法，其包含如下步骤：将第一粒子束(4－1)施加于电气元件之第一位置(3－1)，以自该第一位置处释放电子；将第二粒子束(4－2)施加于电气元件之第二位置(3－2)，而相关于施加该第一粒子束(4－1)具有非零之时间位移(Δt)，以自该第二位置处释放电子；收集在该第一及该第二粒子束之效应下所释放出的电子；以及测量至少对应于该第二粒子束之效应下而释放的所收集电子之电荷数量；以及按定量方式或定性方式自此引发出该电气元件之电气特性。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 两个 位移 脉冲 测试 测量 电气 元件 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种为以测试或测量电气元件(2-1)之方法，其特征在于包含下列步骤：将第一粒子束(4-1)施加于电气元件之第一位置(3-1)，以自该第一位置处释放电子，将第二粒子束(4-2)施加于电气元件之第二位置(3-2)，而相较于将该第一粒子束(4-1)施加于该第一位置具有非零之时间位移(Δt)，以自该第二位置处释放电子，收集将该第一粒子束施加于该第一位置处之效应下所释放出的电子，收集将该第二粒子束施加于该第二位置处之效应下所释放出的电子，以及测量至少一个对应于将该第二粒子束施加于该第二位置处之效应下而释放的所收集电子之电荷数量；以及按定量方式或定性方式自此引发出该电气元件之电气特性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于法商柏奈德公司，未经法商柏奈德公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680004084.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
