[发明专利]放射线敏感性树脂组合物和滤色器无效
申请号: | 200680005397.7 | 申请日: | 2006-02-16 |
公开(公告)号: | CN101124518A | 公开(公告)日: | 2008-02-13 |
发明(设计)人: | 河本达庆;荒井雅史;小林和博;松本龙 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/033 | 分类号: | G03F7/033;G03F7/004;G02B5/20 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 孙秀武;李平英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 含有着色剂、碱溶性树脂、多官能性单体和放射线敏感性自由基引发剂的放射线敏感性树脂组合物。上述碱溶性树脂通过聚合性不饱和化合物的活性自由基聚合来制造、且利用凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1,000~45,000。由该放射线敏感性树脂组合物能够以高的产品成品率形成不产生烙像的滤色器。 | ||
搜索关键词: | 放射线 敏感性 树脂 组合 滤色器 | ||
【主权项】:
1.一种放射线敏感性树脂组合物,含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体和(D)放射线敏感性自由基引发剂,其特征在于,(B)碱溶性树脂通过聚合性不饱和化合物的活性自由基聚合来制造、且利用凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1,000~45,000。
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