[发明专利]液浸式曝光系统、以及用于液浸式曝光的液体的回收方法和供给方法

摘要

一种液浸式曝光系统(1)，通过在投影光学装置(121)的光学元件和衬底(111)之间配备的液体(301)来执行曝光过程。液浸式曝光系统(1)包括供给液体(301)的液体供给部分(80)、将来自液体供给部分(80)的液体(301(301b))连续地沿特定方向导入并且在投影光学装置(121)的光学元件和衬底(111)之间的空间充满了液体(301)的状态下执行曝光过程的曝光部分、其对在关于衬底(111)对称的位置上流过曝光部分(110)的液体(301(301a))进行恢复的液体恢复部分(90)、以及回收被液体恢复部分90恢复的液体(301(301c))的液体回收部分(20)。当采用液浸法时液浸式曝光液的特性可以保持稳定，由此能够有利地并连续地实行曝光，并能降低运行成本。

主权项

1.一种液浸式曝光系统，其通过在投影光学装置的光学元件和衬底之间配备的液体来进行曝光过程，该液浸式曝光系统包括：供给液体的液体供给部分；在投影光学装置的光学元件与衬底之间的空间被液体供给部分所供给的液体所充满的状态下执行曝光过程的曝光部分；以及回收流过曝光部分的液体的液体回收部分；在液体回收部分中回收的液体被返回到液体供给部分中并被再利用。