[发明专利]无声放电式等离子体装置有效
| 申请号： | 200680006165.3 | 申请日： | 2006-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101128964A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 和田升;葛本昌树;中谷元;荆原弘行;江崎德光;峰慎吾;民田太一郎 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01T19/00 | 分类号： | H01T19/00;C01B13/11 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在本发明的无声放电式等离子体产生装置包括电介体、夹着电介体而相对地配置的1组电极、向电极之间施加交流电压而使其放电的交流电源，向产生放电的放电空间供给气体而形成等离子体。电极的至少一个由形成在电介体上的导电性供电薄膜构成，在电介体破损而在电极之间产生了电弧放电的情况下，使产生了电弧放电的部分的供电薄膜消失或氧化，使得停止产生电弧放电。 | ||
| 搜索关键词： | 无声 放电 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种无声放电式等离子体产生装置，包括：电介体；夹着该电介体而相对配置的1组电极；向该电极之间施加交流电压而使其放电的交流电源，并且向产生该放电的放电空间供给气体而形成等离子体，其特征在于包括：该电极的至少一个由在该电介体上形成的导电性供电薄膜构成，在该电介体破损而在该电极之间产生电弧放电的情况下，使产生了该电弧放电的部分的该供电薄膜消失，使该电弧放电的产生停止。
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