[发明专利]半导体器件及其制造方法无效
申请号: | 200680006918.0 | 申请日: | 2006-02-28 |
公开(公告)号: | CN101133497A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 鲁鸿飞;神保信一 | 申请(专利权)人: | 富士电机控股株式会社 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L27/08;H01L21/336;H01L27/088;H01L21/8234;H01L27/092;H01L21/8238;H01L29/78;H01L27/04;H01L29/786 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 张鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种表现出高击穿电压、极好的热性质、高闩锁承受能力和低导通电阻的半导体器件。根据本发明的包括设置在n-型漂移层3和n-型漂移层3上的第一n型区7之间的埋置绝缘区5的半导体器件便于限制发射极空穴电流、防止闩锁发生、既不增加导通电阻也不增加导通电压。根据本发明的包括设置在埋置绝缘区5和n-型漂移层3之间的p型区4的半导体器件便于在器件的截止状态下耗尽n型漂移层3。根据本发明的包括设置在第一n型区7和n-型漂移层3之间的第二n型区6的半导体器件便于将沟道区中或第一n型区7中产生的热经由第二n型区6、n型漂移层3和n型缓冲层2消散到作为半导体衬底的p+型集电层1a。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:第一导电类型的漂移层;所述漂移层上的第一导电类型的第一区,所述第一区的电阻率低于所述漂移层的电阻率;局部设置在所述第一区和所述漂移层之间的埋置绝缘区;所述埋置绝缘区和所述漂移区之间的第二导电类型的区域,所述第二导电类型的区域与所述漂移层接触;与所述第一区接触的第二导电类型的主体区;所述主体区中的第一导电类型的低电阻区;所述主体区中的第二导电类型的接触区;电连接到所述接触区和所述低电阻区的正面电极;所述第一区和所述低电阻区之间的主体区的部分上的栅绝缘膜;以及与所述主体区相对的一侧上的栅电极,且所述栅绝缘膜置于其间。
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