[发明专利]冷阴极压力传感器有效
| 申请号： | 200680007372.0 | 申请日： | 2006-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101138066A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·韦齐希;卢多尔夫·格道 | 申请（专利权）人： | 因菲康有限公司 |
| 主分类号： | H01J41/06 | 分类号： | H01J41/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张文;王艳江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种冷阴极压力传感器(10)，其包括：气密壳体(12)；测试气体入口(18)；设置在所述壳体(12)中的阳极(14)和阴极(16、17)；以及朝向所述阴极(16、17)以触发冷阴极放电的辐射源(20)。所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成。所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过制成所述壳体的玻璃照射所述阴极(16、17)。来自所述辐射源(20)的射线的波长大体上处于从大于350nm到小于1400nm的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种冷阴极压力传感器(10)，包括：气密壳体(12)，其具有测试气体入口(18)；阳极(14)和阴极(16、17)，其设置在所述壳体(12)中，以及辐射源(20)，其朝向所述阴极，用于触发冷阴极放电，其特征在于：所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成，所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过所述壳体玻璃照射所述阴极(16、17)，并且所述辐射源(20)大体上放射波长λ大于350nm且小于1400nm的射线。
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