[发明专利]具有改良的接合和腐蚀特性的铜制接合线或超细线无效
申请号: | 200680007576.4 | 申请日: | 2006-02-24 |
公开(公告)号: | CN101138086A | 公开(公告)日: | 2008-03-05 |
发明(设计)人: | 阿尔布雷希特·比朔夫;海因茨·弗德雷尔;卢茨·施雷普勒;弗兰克·克吕格尔 | 申请(专利权)人: | W.C.贺利氏有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张天舒 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种表面富含金的铜制接合线或超细线,特别地,金的含量对应于最大50nm厚的外层。或者,所述接合线或超细线可以按照球-楔接合方法进行接合,其呈现铜的颜色,并且,其火焰球具有值为95的硬度(HVO.002)。为了制造所述接合线或超细线,可以在铜线上涂以金或铜-金合金外层,或将金引入铜线表面。所述接合线或超细线和半导体硅芯片接合在一起。 | ||
搜索关键词: | 具有 改良 接合 腐蚀 特性 铜制 细线 | ||
【主权项】:
1.一种铜制接合线或超细线,其特征在于,在所述接合线或超细线的表面中富含金。
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