[发明专利]具有改良的接合和腐蚀特性的铜制接合线或超细线无效

专利信息
申请号: 200680007576.4 申请日: 2006-02-24
公开(公告)号: CN101138086A 公开(公告)日: 2008-03-05
发明(设计)人: 阿尔布雷希特·比朔夫;海因茨·弗德雷尔;卢茨·施雷普勒;弗兰克·克吕格尔 申请(专利权)人: W.C.贺利氏有限公司
主分类号: H01L23/49 分类号: H01L23/49
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人: 张天舒
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种表面富含金的铜制接合线或超细线,特别地,金的含量对应于最大50nm厚的外层。或者,所述接合线或超细线可以按照球-楔接合方法进行接合,其呈现铜的颜色,并且,其火焰球具有值为95的硬度(HVO.002)。为了制造所述接合线或超细线,可以在铜线上涂以金或铜-金合金外层,或将金引入铜线表面。所述接合线或超细线和半导体硅芯片接合在一起。
搜索关键词: 具有 改良 接合 腐蚀 特性 铜制 细线
【主权项】:
1.一种铜制接合线或超细线,其特征在于,在所述接合线或超细线的表面中富含金。
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