[发明专利]制造用于等离子加工设备的气体分配构件的方法有效
| 申请号： | 200680008080.9 | 申请日： | 2006-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101495268A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | R·J·斯蒂格 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究公司 |
| 主分类号： | B23Q17/00 | 分类号： | B23Q17/00;B21D39/03;C23F1/00;H01L21/26;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余 刚;李丙林 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了制造用于等离子加工设备的气体分配构件的方法。气体分配构件可以是电极、气体分配板或其他构件。所述方法包括通过例如机械制造技术的适用技术在气体分配构件中制造喷气孔，测量通过气体分配构件的气体流量，随后通过相同技术或者通过例如激光钻孔的不同技术调节气体分配构件的透气性。可以在所述构件的一个或多个区域处调节气体分配构件的透气性。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 用于 等离子 加工 设备 气体 分配 构件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造用于等离子加工设备的气体分配构件的方法，包括：制造喷气孔，所述喷气孔在相对的气体分配构件入口和出口表面之间延伸；测量从气体分配构件的多个区域中每个区域的出口表面的喷气孔流出的总气体流量；和根据为每个区域测得的总气体流量，在一个或多个区域调节气体分配构件的透气性以在出口表面处实现希望的气体流量分布图案。
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