[发明专利]测量探针

摘要

用于定位装置的探针具有探针体(18)和接触工件的触针(14)。应变灵敏结构体连接探针体和触针，且包括可弯曲构件(32)。可弯曲构件具有不对称的横截面，例如“T”形横截面。在“T”的柄部设置应变仪(33)，用于检测当触针接触工件时引起的弯曲。这能够使应变灵敏结构体结实且对弯曲灵敏。

主权项

1.一种用于定位装置的探针，所述探针包括：探针体，触针固定器，其与工件接触触针连接或可与工件接触触针连接，至少一个可弯曲构件，所述可弯曲构件连接在探针体和触针固定器之间，当触针接触工件时所述可弯曲构件发生弯曲，所述可弯曲构件具有在所述弯曲期间不受拉伸或压缩作用的中性轴，所述可弯曲构件的至少一部分与中性轴分开，所述部分在弯曲期间受到拉伸或压缩，应变感应元件，其位于所述与中性轴分开的部分上，从而在触针接触工件时产生输出信号，所述可弯曲构件的另一部分与中性轴的距离比设置有应变感应元件的所述部分与中性轴的距离更近，所述另一部分的硬度大于设置有应变感应元件的所述部分的刚度。