[发明专利]具有挠性和自由开关膜的RF MEMS开关无效
| 申请号： | 200680009284.4 | 申请日： | 2006-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN101147223A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 奥利弗·米莱特 | 申请（专利权）人： | 德尔福芒斯公司 |
| 主分类号： | H01H1/00 | 分类号： | H01H1/00;H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 法国阿*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种RF MEMS开关，其包括由衬底(1)承载的可以在第一位置(断开状态/图1)和第二位置(接通状态)的两个位置之间受驱动的微机械开关装置，以及用于驱动开关装置的位置的驱动装置。微机械开关装置包括由支撑装置(3)自由地支撑的，在驱动装置(7)的动作下可弯曲的，以及可以在其弯曲运动过程中相对于支撑装置(3)自由地滑动的挠性膜(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 自由 开关 rf mems | ||
【主权项】：
1.一种RF MEMS开关，其包括可以在第一位置(断开状态)和第二位置(接通状态)的两个位置之间被驱动的微机械开关装置、以及用于驱动所述开关装置的位置的驱动装置，其特征在于，所述微机械开关装置包括挠性膜(6)，该挠性膜由支撑装置(3)自由地支撑，在所述驱动装置(7)的作用下可弯曲，并且在其弯曲运动过程中相对于所述支撑装置(3)可以自由地滑动。
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