[发明专利]处理气流的方法有效
| 申请号： | 200680009359.9 | 申请日： | 2006-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101155634A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | J·R·史密斯;G·P·奈特 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/20 | 分类号： | B01J19/20;B01D53/46;C23C16/44;B01D53/68 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;赵辛 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明描述了一种处理含有硅烷或其它含硅气体的气流的方法。在该方法中，该气流传送到液环泵或螺杆机构泵。同时提供用于在该泵内氧化该含硅气体的氧化剂，以及用于在该泵内形成液环或用于间歇性冲刷的液体。包含有该液体以及该含硅气体氧化副产品的液体流从该泵排出。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 气流 方法 | ||
【主权项】：
1.一种处理包含有含硅气体的气流的方法，所述方法包括步骤：将所述气流传送到泵内；给所述泵供应氧化剂和液体，所述氧化剂用于在所述泵内氧化所述含硅气体；以及从所述泵内排出包含有所述含硅气体的氧化副产品的所述液体。
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