[发明专利]不对称高电压器件和制造方法有效
申请号: | 200680010636.8 | 申请日: | 2006-03-30 |
公开(公告)号: | CN101180738A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
发明(设计)人: | 西奥多·莱塔维奇;赫尔曼·埃芬;罗伯特·库克 | 申请(专利权)人: | NXP股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/08;H01L27/092;H01L21/8238 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈源;张天舒 |
地址: | 荷兰爱*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 一种不对称半导体器件(10)及其形成方法,其中可在工艺中使用设计用于2.75或5.5V最大操作的栅极氧化物厚度来制造25V器件。所述器件包括:浅槽隔离(STI)区(12),其在一个晶胞的漏极区(18)和栅极区(20)之间形成电介质以允许高电压操作;和在所述晶胞内摹制的n型阱(14)和p型阱(24)。 | ||
搜索关键词: | 不对称 电压 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种不对称互补金属氧化物半导体(CMOS)器件(10),包括:浅槽隔离(STI)区(12),其在一个晶胞的漏极区(18)和栅极区(20)之间形成电介质以允许高电压操作;和在所述晶胞内摹制的n型阱(14)和p型阱(24)。
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