[发明专利]用于生成、加速和传播电子束和等离子体束的设备和方法有效

专利信息
申请号: 200680011252.8 申请日: 2006-04-05
公开(公告)号: CN101156505A 公开(公告)日: 2008-04-02
发明(设计)人: 弗朗西斯科·西诺·马塔科塔 申请(专利权)人: 卡罗·塔里亚尼;弗朗西斯科·西诺·马塔科塔
主分类号: H05H1/54 分类号: H05H1/54
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 李玲
地址: 意大利*** 国省代码: 意大利;IT
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摘要: 一种用于生成、加速和传播高密度电子束和等离子体束的设备和方法,设备包括:含有气体的第一介电管;连接到所述第一介电管的空心阴极;连接到所述空心阴极并向沉积室内凸出并与之连接的第二介电管;在中间位置处布置在所述第二介电管的周围的阳极;用于将电压施加到所述阴极和所述阳极的装置;用于从所述沉积室排空气体的装置;以及用于第一介电管内气体向等离子体的自发转变的装置。
搜索关键词: 用于 生成 加速 传播 电子束 等离子体 设备 方法
【主权项】:
1.一种用于生成、加速和传播高密度电子束和等离子体束的设备,包括:含有气体的第一介电管;气密连接到所述第一介电管的空心阴极;气密连接到所述空心阴极并向沉积室内凸出并与之连接的第二介电管;在中间位置处布置在所述第二介电管的周围的阳极;用于将电压施加到所述阴极和所述阳极的装置;用于从所述沉积室排空气体的装置;以及用于所述第一介电管内气体向等离子体的自发转变的装置。
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