[发明专利]溅射靶及制造方法有效
申请号: | 200680011590.1 | 申请日: | 2006-02-07 |
公开(公告)号: | CN101155650A | 公开(公告)日: | 2008-04-02 |
发明(设计)人: | 小查尔斯·E·威克沙姆;弗拉迪米尔·I·莱维特;P·托德·亚历山大 | 申请(专利权)人: | 卡伯特公司 |
主分类号: | B21B1/02 | 分类号: | B21B1/02;B21B1/38;C23C14/34 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 宋莉 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 描述了一种加工金属的方法,其包括对金属板进行脉冲轧制直至获得理想厚度,以形成轧板。还进一步描述了溅射靶和其它金属制品。 | ||
搜索关键词: | 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种加工金属的方法,包括脉冲轧制金属板,直至获得理想厚度以形成轧板。
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