[发明专利]布线基板及其制造方法无效
申请号: | 200680012164.X | 申请日: | 2006-04-11 |
公开(公告)号: | CN101238761A | 公开(公告)日: | 2008-08-06 |
发明(设计)人: | 铃木邦明;久保田浩;芳贺宣明;三森健一 | 申请(专利权)人: | 阿尔卑斯电气株式会社 |
主分类号: | H05K1/09 | 分类号: | H05K1/09;H05K3/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种可以形成对陶瓷层和Ag连接层双方都保持有充分粘附性的Cu电镀层的布线基板及其制造方法。将陶瓷层(12)表面的一部分和Ag连接层(14)的上面用Ag薄膜层(15)覆盖。Cu布线层(11)通过该Ag薄膜层(15)形成在陶瓷层(12)和Ag连接层(14)上。在通过无电解电镀形成Cu布线层(11)时,这样的Ag薄膜层(15)有助于提高Cu布线层(11)和Ag连接层(14)之间的连接强度,还有助于在陶瓷层(12)上形成具有足够的厚度的Cu布线层(11)。 | ||
搜索关键词: | 布线 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种布线基板,其特征在于,包括:陶瓷层;接触孔,形成在所述陶瓷层中;Ag连接层,按照填埋所述接触孔的方式形成;Ag薄膜层,按照覆盖所述Ag连接层的表面和所述陶瓷层的表面的至少一部分的方式形成;和Cu布线层,形成在所述Ag薄膜层上,至少其一部分与所述Ag连接层导通。
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