[发明专利]具有形貌图案化的膜的膜介导的电抛光

摘要

用本发明提供使用形貌图案化的膜来抛光和/或平面化金属工件的膜介导的电抛光(MMEP)方法。该方法可用于纯金属和合金，并且提供优于常规电抛光方法和已知的使用光滑膜的MMEP方法的优点。本发明也提供在膜介导的电抛光方法中有用的阴极半电池和装置。本发明还提供用于在金属工件表面电蚀刻和电加工形貌图案、孔和/或凹陷沟道的方法。

主权项

1.膜介导的电抛光方法，包括：a.提供阴极半电池，包括：1.完全或部分密闭的容积、腔或容器；2.电解质溶液或凝胶，其部分或基本填充所述密闭的容积、腔或容器；3.电极，其与电解质溶液或凝胶接触；4.工具，用于电连接电极至DC电源；和5.电荷选择性离子传导膜，其密封所述密闭的容积、腔或容器的一个表面，使得所述膜的内表面接触电解质溶液或凝胶，外表面能够接触金属工件和导电率低的溶剂或溶液，其中所述膜用位于所述膜的外表面上的宽度WL的槽脊和深度DC沟道形貌图案化，并且所述沟道延伸至轮廓面积的边缘；b.用导电率低的溶剂或溶液基本上覆盖金属工件的表面；c.提供DC电源，其正接线端连接金属工件，其负接线端连接所述半电池的电极；和d.使金属工件与至少一部分所述膜的外表面接触。