[发明专利]用于等离子体处理设备的等离子体增强器有效
| 申请号： | 200680015016.3 | 申请日： | 2006-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101233598A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | O·马斯勒;H·埃伯勒;P·格施文德 | 申请（专利权）人： | 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹若;赵辛 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于等离子体处理设备的等离子体增强器，包括用于使辉光放电等离子体增强和/或点火以进行处理，尤其用来对工件(8)进行涂覆的装置(1，4)，具有至少一个由导电材料制成的空心体(2，5)。该空心体如此构造，使得在该空心体上施加电信号时，至少在特定压力范围和电压范围里，满足了在空心体内部放电点火的几何条件。空心体具有至少一个开口，通过该开口，载荷子可以流出到所述装置的周围里，以便在那里能够使等离子体点火和运行，或者增强在那里所存在的等离子体。所述装置包括使空心体与工件电连接的机构，从而空心体基本处在工件电位。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 设备 增强 | ||
【主权项】：
1.一种装置，用于使辉光放电等离子体增强和/或点火以处理，尤其是涂覆工件，具有至少一个由导电材料制成的空心体，其中空心体的空腔这样构造，使得在将电信号施加到空心体上时，至少在特定的压力范围和电压范围里，满足了在空心体内部进行放电点火的几何条件，并且空心体包括至少一个开口，通过该开口，载荷子可以流入到所述装置的周围里，以便在那里能够使等离子体实现点火和运行，或者增强在那里存在的等离子体，其特征在于，所述装置包括使空心体与工件电连接的机构，从而使空心体基本上处于工件电位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫），未经奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680015016.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
