[发明专利]空间光调制器装置、光刻设备、显示装置、产生具有空间光图案的光束的方法以及制造器件的方法无效
| 申请号： | 200680016346.4 | 申请日： | 2006-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101176042A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·J·劳斯 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 用于提供响应于电信号可变的空间光图案的空间光调制器装置(SLM)包括第一调制器元件(ME1)和第二调制器元件(ME2。可以叠加通过第一调制器元件(ME1)处理过的第一光束(LB1)和通过第二调制器元件(ME2)处理过的第二光束(LB2)以形成空间光图案。这样，可以用第二调制器元件(ME2)的相应像素来补偿第一调制器元件(ME1)中的缺陷。通过第一调制器元件(ME1)和第二调制器元件(ME2)提供的空间光图案是互补的，并且组合为所需空间光图案。可以将所述空间光调制器装置(SLM)用在光刻设备(LA)或显示装置(DD)中。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 调制器 装置 光刻 设备 显示装置 产生 具有 图案 光束 方法 以及 制造 器件 | ||
【主权项】：
1.一种空间光调制器装置(SLM)，用于提供响应于电信号可变的空间光图案，所述空间光调制器装置包括：-具有像素(10-16)的第一调制器元件(ME1)，用于接收第一光束(LB1)并且响应于第一电信号来处理第一光束(LB1)；-具有像素(10-16)的第二调制器元件(ME2)，用于接收第二光束(LB2)并且响应于第二电信号来处理第二光束(LB2)，所述电信号包括第一电信号和第二电信号；以及-用于叠加通过第一调制器元件(ME1)处理过的第一光束(LB1)和通过第二调制器元件(ME2)处理过的第二光束(LB2)的装置(BS)，用于形成空间光图案；-第一调制器元件(ME1)的像素(10-16)具有响应于第一电信号可调的状态，包括：第一状态，用于处理第一光束(LB1)使得入射到像素上的那部分第一光束是空间光图案的一部分；以及第二不同的状态，用于处理第一光束(LB1)使得空间光图案基本上与那部分第一光束无关，第二调制器元件(ME2)的像素(10-16)具有响应于第二电信号可调的状态，包括：第一状态，用于处理第二光束(LB2)使得入射到像素上的那部分第二光束是空间光图案的一部分；以及第二不同的状态，用于处理第二光束(LB2)使得空间光图案基本上与那部分第二光束无关，其特征在于；将第一调制器元件(ME1)和第二调制器元件(ME2)配置为使得当第一调制器元件的像素和第二调制器元件的像素处于它们各自的第一状态时，在空间光图案中的那部分第一光束和那部分第二光束配置为基本上重合。
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