[发明专利]TFT基板检查装置无效
| 申请号： | 200680016715.X | 申请日： | 2006-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN101176006A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 小西康雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种TFT基板检查装置，能够以短时间利用高温进行基板检查。本发明的TFT基板检查装置(1)包括对已导入的TFT基板(9)进行基板检查的检查室(4)、以及将TFT基板导入至检查室内的加载互锁真空室(2)，加载互锁真空室(2)包括对所导入的TFT基板进行预备加热的加热单元(10)，检查室(4)包括将从加载互锁真空室导入的TFT基板进行保温的保温单元(11)。利用加热单元(10)对TFT基板(9)预备加热，可将处于高温状态下的TFT基板导入至检查室内，因而检查室内无需用于加热至高温的机构，而且无需使检查室内升温的时间即可进行基板检查。 | ||
| 搜索关键词： | tft 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种TFT基板检查装置，包括对所导入的TFT基板进行基板检查的检查室、以及将TFT基板导入至上述检查室内的加载互锁真空室，其特征在于：上述加载互锁真空室包括加热单元，用于对导入的TFT基板预备加热，以及上述检查室包括保温单元，用于将从加载互锁真空室导入的TFT基板进行保温。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680016715.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
