[发明专利]研磨垫有效
| 申请号： | 200680017384.1 | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101180158A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 数野淳;小川一幸;中森雅彦;山田孝敏;下村哲生 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C08G18/10;H01L21/304;C08G101/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在研磨对象物的表面难以发生划伤，且平坦化特性优越的研磨垫。本发明的研磨垫具有由具有微细气泡的聚氨酯树脂发泡体构成的研磨层，所述聚氨酯树脂发泡体的拉伸断裂伸长是25～120％。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，其包含具有微细气泡的聚氨酯树脂发泡体构成的研磨层，其特征在于，所述聚氨酯树脂发泡体的拉伸断裂伸长为25～120％。
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