[发明专利]质量分析装置及其使用方法无效
| 申请号： | 200680017655.3 | 申请日： | 2006-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN101180531A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 中岛丰昭;吉泽秀树 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陆弋;朱登河 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种安装在腔室的壁部，对在该腔室内存在的分析对象气体进行分析的质量分析装置，其特征在于，该装置包括：测定部，向所述腔室安装时插入所述腔室内，测定所述分析对象气体中气体成分的每一质荷比的分压；操作部，向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，操作所述测定部；和显示部，向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，显示所述测定部的测定结果，所述测定部、所述操作部和所述显示部相互靠近配设。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 分析 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种质量分析装置，安装在腔室的壁部，分析该腔室内存在的分析对象气体，其特征在于，包括：测定部，在向所述腔室安装时插入所述腔室内，测定所述分析对象气体中的气体成分的每一质荷比的分压；操作部，在向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，操作所述测定部；以及显示部，在向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，显示所述测定部的测定结果，所述测定部、所述操作部和所述显示部相互靠近配设。
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