[发明专利]弹性体的连续收缩——一种产生微米和纳米结构的简单微型化方法无效
| 申请号： | 200680018621.6 | 申请日： | 2006-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101189106A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 刘刚玉;胡军;谭俐;刘茂孜 | 申请（专利权）人： | 加利福尼亚大学董事会 |
| 主分类号： | B28B7/06 | 分类号： | B28B7/06;B28B7/38;B28B7/40;B29C55/02;B29C61/02;B29C41/00;B29C43/00;B29C35/00;B29C33/42 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谢顺星 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 分步收缩和吸附纳米光刻(SCAN)图案工艺能够收缩复杂的(由目前微制造技术产生的)微结构到纳米级。SCAN的基本原理是转移预设计的微结构到伸长的弹性体上。该伸长的弹性体然后被允许松弛，因此缩小了微结构。该新的微型化结构然后用作转移该结构到其它拉长弹性体上的印章。通过重复上述过程，带有预设计几何形状的材料的图案被微型化到希望尺寸，包括亚100nm。SCAN的简单性和高产量能力使得该平台成为其它微或纳米技术具有竞争力的替换，有潜力地应用在多路传感器、非二进制光学显示、生物芯片、纳米电子器件以及微流器件中。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性体 连续 收缩 一种 产生 微米 纳米 结构 简单 微型 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造微结构或纳米结构的方法，该方法包括：获得拉伸的弹性体；在该拉伸的弹性体上制造图案；允许该拉伸的弹性体松驰去转换该图案，以产生微结构或纳米结构。
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