[发明专利]液滴沉积装置无效
| 申请号： | 200680018747.3 | 申请日： | 2006-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101184622A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 史蒂夫·坦普尔 | 申请（专利权）人： | XAAR科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明涉及一种液滴沉积装置。这样形成打印头的部件，即：形成PZT晶片(1)；在该PZT晶片的一侧上形成SU8光刻胶材料区(4)；在所述平面体的与所述第一侧相反的第二侧中锯切出致动器通道(6)，该致动器通道的深度足以使光刻胶材料的区域露出；在所述露出区域中穿过光刻胶材料层形成喷嘴(7)，使得该喷嘴与所述致动器通道连通。所述光刻胶材料区可用于利用光刻技术来形成喷嘴板。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种形成用于液滴沉积装置的部件的方法，该方法包括如下步骤：形成压电材料制成的平面体；在所述平面体的第一侧上形成第二材料区；在所述平面体的与所述第一侧相反的第二侧中形成通道，该通道的深度足以使所述第二材料的区域露出；在所述露出区域中穿过所述第二材料层形成喷嘴，使得该喷嘴与所述通道连通。
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