[发明专利]表面检测设备及表面检测方法

摘要

在本发明中，通过减弱基底层的影响，成功地执行表面上的重复图案的缺陷检测。为了获得上述目标，本发明包括：单元13，其利用照明光L1照射样品20的表面上的重复图案的；单元11、12，其将由入射平面在表面上的方向和重复图案的重复方向所形成的角设置为零以外的预定值，所述入射平面包括照明光的照射方向、表面的法线1A；光探测单元14，其在照射照明光时探测从重复图案生成的规则的反射光，并输出关于规则的反射光的光强度的信息；以及探测单元15，其基于从光探测单元输出的信息，探测重复图案的缺陷。此外，由入射平面在表面上的方向和重复方向所形成的角φ、由照明光的照射方向和表面的法线所形成的角θ、照明光的波长λ以及重复图案的节距p满足条件式(λ/[2cos(θ·sinφ)]＞p)。

主权项

1.一种表面检测装置，包括：照射单元，其利用照明光照射形成在样品表面上的重复图案；设置单元，其将由入射平面在所述表面上的方向和所述重复图案的重复方向形成的角设置为零以外的预定值，所述入射平面包括所述照明光的照射方向和所述表面的法线；光探测单元，当照射所述照明光时所述光探测单元探测从所述重复图案生成的规则的反射光，并输出与所述规则的反射光的光强度有关的信息；以及探测单元，基于从所述光探测单元输出的关于所述规则的反射光的光强度的信息，所述探测单元探测所述重复图案的缺陷，其中由所述入射表面在所述表面上的方向和所述重复方向形成的角φ，由所述照明光的照射方向和所述表面的法线形成的角θ，所述照明光的波长λ，以及所述重复图案的节距p满足下列条件式λ/[2cos(θ·sinφ)]＞p。