[发明专利]探针板无效
申请号: | 200680019433.5 | 申请日: | 2006-06-01 |
公开(公告)号: | CN101189711A | 公开(公告)日: | 2008-05-28 |
发明(设计)人: | 李瀚茂 | 申请(专利权)人: | 飞而康公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 武玉琴;张友文 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种探针板,该探针板易于装配、维修和构造,从而在检测程序中可以防止空间变换器的受控高度因例如热变形等各种因素而变化。这种探针板包括:设置有探针尖部的安装部件和布置在该安装部件上的印刷电路板(PCB)。加固部件固定在PCB的顶部表面上,并且接触部件布置在PCB与加固部件之间。借助于插入在形成于PCB中的插入孔内的连接部件来固定接触部件和安装部件,并且用于控制安装部件的高度的控制螺钉沿着从底部向顶部的方向按顺序地插入在形成于安装部件、PCB和加固部件中的控制孔内。由于接触部件的顶部表面向上突起,所以,即使在控制安装部件的高度时安装部件与接触部件倾斜,接触部件也会持续接触加固部件。 | ||
搜索关键词: | 探针 | ||
【主权项】:
1.一种探针板,包括:安装部件,具有底部表面,并且在所述底部表面上设置有探针尖部以便与检测对象电接触;印刷电路板(PCB),具有顶部表面和底部表面,并且在所述顶部表面和所述底部表面上分别布置有电连接的极板;互连部件,布置在所述安装部件与所述PCB之间,以使布置在所述PCB的底部表面上的极板与所述探针尖部电连接;加固部件,布置在所述PCB上方以限定所述加固部件与所述PCB之间的空间,并且所述加固部件与所述PCB接合;接触部件,设置在所述空间内,并且具有局部或完全接触所述加固部件的顶部表面;连接部件,插入在形成于所述PCB中的插入孔内,以使所述接触部件与所述安装部件接合;以及多个控制部件,插入在形成于所述安装部件、所述PCB和所述加固部件中的控制孔内,以控制所述安装部件的高度并且使所述安装部件固定在所述PCB上,其特征在于,相应插入孔的插入深度可以精细调节。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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