[发明专利]具有可更换的隔离保护装置的耐等离子体密封组件无效
| 申请号： | 200680019603.X | 申请日： | 2006-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN101189697A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | M·J·赫勒;L·L·芬尼 | 申请（专利权）人： | 杜邦特性弹性体有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平;杨松龄 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的密封组件包括闭合组件，所述闭合组件具有第一和第二沟槽，同时橡胶密封件安装在上述第一沟槽中，而可拆卸式安装的可更换的隔离条带处于上述第二沟槽中，上述隔离层位于橡胶密封件和等离子体源之间，因而上述隔离层保护橡胶密封件免受等离子体的侵蚀作用。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 更换 隔离 保护装置 等离子体 密封 组件 | ||
【主权项】：
1.一种密封组件，包括：闭合组件，所述闭合组件具有第一和第二沟槽；弹性体密封件，所述弹性体密封件安装在上述第一沟槽中；和可更换的隔离条带，所述隔离条带可拆卸式安装在上述第二沟槽中，因而上述隔离条带保护上述弹性体密封件免于直接暴露于反应性等离子体。
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