[发明专利]光电倍增器

摘要

本发明涉及一种光电倍增器，其具有能有效地抑制电子倍增通道间的串扰，实现高检测精度的微细结构。该光电倍增器具有将内部维持在真空的外围器，在该外围器内配置有光电面(22)、电子倍增部(311)、阳极(32)。电子倍增部作为电子倍增通道具有用于对光电子进行级联倍增的沟部，阳极由分别与以壁部规定的沟部相对应的通道电极构成。特别是各通道电极(320)，其一部分被配置在被规定相应沟部的一对壁部夹着的空间内。

主权项

1.一种光电倍增器，其特征在于，具有：外围器，内部被维持在真空状态；光电面，被容纳于所述外围器内，相应于经过该外围器而取入的光向该外围器的内部释放电子；电子倍增部，被容纳于该外围器内，具有沿着电子的行进方向延伸的多个沟部；以及，阳极，被容纳于该外围器内，用于将在所述电子倍增部被级联倍增的电子中的到达的电子作为信号而取出，该阳极由多个通道电极构成，这些通道电极分别对应于设置在所述电子倍增部的多个沟部而设置，并且这些通道电极的至少一部分被配置在被规定相应的沟部的一对壁部夹着的空间内。