[发明专利]流量控制设备的绝对流量检测系统

摘要

为了可通过工艺气体进行流量控制设备的高精度的绝对流量检测，具有：排气流路(31)，将第1截止阀(21)和第2截止阀(22)之间的气体流路(30)与真空泵(14)的入口连通；设置在排气流路(31)上的第3截止阀(23)、压力传感器(11)、温度传感器(12)及第3截止阀(24)；检测用控制装置，与它们连接，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由质量流量控制器(10)的出口、第2截止阀(22)、第3截止阀(23)形成的预定空间的容积值，其中，根据第1测量时及第2测量时的压力P₁、温度T₁、与它们对应的第1压缩因数Z₁、容积V求得质量G1，根据第2测量时的压力P₂、温度T₂、与它们对应的第2压缩因数Z₂、容积V求得质量G2，通过质量G₁和质量G₂的差检测出质量流量控制器(10)的绝对流量。

主权项

1.一种流量控制设备的绝对流量检测系统，检测出流量控制单元中的流量控制设备的绝对流量，所述流量控制设备具有在连通流量控制设备的出口和处理室的入口的气体流路上设置的第1截止阀及第2截止阀，该系统的特征在于，具有：排气流路，将所述第1截止阀和所述第2截止阀之间的所述气体流路与真空泵的入口连通；第3及第4截止阀，设置在所述排气流路上；压力传感器和温度传感器，设置在所述第3截止阀和所述第4截止阀之间的所述排气流路上；和检测用控制装置，连接所述压力传感器和所述温度传感器，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由所述流量控制设备的出口、所述第2截止阀和所述第4截止阀形成的预定空间的容积值，从所述检测用控制装置的所述压缩因数数据读出与第1测量时由所述压力传感器测定的第1压力值及由所述温度传感器测定的第1温度值对应的第1压缩因数值，根据所述第1压力值、所述第1温度值、所述容积值及所述第1压缩因数值求得第1质量，从所述检测用控制装置的所述压缩因数数据读出与第2测量时由所述压力传感器测定的第2压力值及由所述温度传感器测定的第2温度值所对应的第2压缩因数值，根据所述第2压力值、所述第2温度值、所述容积值及所述第2压缩因数值求得第2质量，根据所述第1质量与所述第2质量的差检测出所述流量控制设备的绝对流量。