[发明专利]载物台装置

摘要

本发明的载物台装置(10)具有用于载置晶片(12)的晶片保持部件(14)、可升降地支撑晶片保持部件(14)的Z轴支撑基座(18)、经由轴承(20)可转动地支撑Z轴支撑基座(18)的θz支撑基座(22)、和搭载θz支撑基座(22)的XY工作台(24)。Z轴执行元件(36)的固定元件(36a)固定在θz支撑基座(22)的平面部(34)上，可动元件(36)固定在晶片保持部件(14)的横架部件(14b)的两端上。一对Z轴执行元件(36)被控制以使其对晶片保持部件(14)的横架部件(14b)同时施加驱动力。此时，Z轴执行元件(36)的驱动力的反作用力被θz支撑基座(22)及XY工作台(24)承接，所以抑制了由反作用力引起的振动发生。

主权项

1.一种载物台装置，具有：保持部件，用来保持对象物；升降支撑部件，可升降地支撑该保持部件；转动支撑部件，绕Z轴可转动地支撑该升降支撑部件；以及Z轴驱动机构，沿Z轴方向升降上述保持部件；其特征在于，将上述Z轴驱动机构设在上述转动支撑部件上，使上述保持部件相对于上述转动支撑部件升降。