[发明专利]具有可调电极面积比的受约束等离子体有效
| 申请号： | 200680021011.1 | 申请日： | 2006-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN101199036A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚斯·菲舍尔 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚;尚志峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种等离子体反应器(200)，包括室(202)、底部电极(204)、顶部电极(206)、第一约束环组(208)、第二约束环组(210)、以及接地扩展部(212)。该顶部和底部电极、该第一和第二约束环组、以及该接地扩展部均封入该室内。该第一约束环组大体上平行于该底部电极和该顶部电极，并围绕该底部电极和顶部电极之间的第一体积。该第二约束环组大体上平行于该底部电极和该顶部电极，并围绕该底部电极和顶部电极之间的第二体积。该第二体积至少比该第一体积大。接地扩展部邻近并围绕该底部电极。该第一约束环组和该第二约束环组能够被独立地升高和降低，以延伸到该接地扩展部之上的区域内。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可调 电极 面积 约束 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体反应器，包括：室；封入所述室内的底部电极和顶部电极；大体上平行于所述底部电极和所述顶部电极的第一约束环组，并围绕所述底部电极和所述顶部电极之间的第一体积；大体上平行于所述底部电极和所述顶部电极的第二约束环组，并围绕所述底部电极和所述顶部电极之间的第二体积，所述第二体积大于所述第一体积；邻近并围绕所述底部电极的接地扩展部，其中，所述第一约束环组和所述第二约束环组能够被独立地升高和降低，以延伸到所述接地扩展部之上的区域内。
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