[发明专利]微机械运动传感器的制造方法以及微机械运动传感器

摘要

本发明关于用于测量物理量如加速度、角加速度或角速度的测量装置，更精确地是关于微机械运动传感器。本发明运动传感器元件的晶片平面内的面积小于被方形切割且翻转90°的运动传感器元件的面积。相应地，本发明运动传感器元件(该元件已翻转90°)的高度在接合方向上小于由接合的晶片形成的晶片堆的厚度。本发明的目的是提供一种微机械运动传感器改进的制造方法，尤其是用于小型微机械运动传感器方案。

主权项

1.一种从晶片部件制造出微机械运动传感器的方法，在所述方法中，微机械运动传感器元件从通过彼此接合至少两个晶片获得的晶片堆中方形切成，其特征在于，所述微机械运动传感器元件被如此方形切割，以便：在晶片表面平面内，所述运动传感器元件的面积小于被方形切割且翻转90°的所述运动传感器元件的面积；以及在接合方向上，被翻转90°的所述运动传感器元件的高度小于由所述接合的晶片形成的所述堆的厚度。