[发明专利]平移旋转二自由度载物台装置及采用该装置的三自由度载物台装置

摘要

本发明提供一种在可对工作台进行Yθ的微小定位的同时，可进行搬运用途的长行程移动的平移旋转二自由度载物台装置。具体为，可实现平移Y方向移动和旋转θ的平移旋转二自由度载物台装置，其具备至少2组(6a、6b)通过由具有平移自由度的2个平移自由度部、具有旋转自由度的1个旋转自由度部及电动机构成的一轴驱动平移旋转机构及电动机控制装置构成的一轴驱动平移旋转机构；及具有1个旋转自由度和1个平移自由度的第2机构部(16)。

主权项

1.一种平移旋转二自由度载物台装置，通过配置于机台部的驱动机构将放载对象物的工作台定位于规定位置，其特征为，前述驱动机构是一轴驱动平移旋转机构，其通过由具有平移自由度的2个平移自由度部和具有旋转自由度的1个旋转自由度部构成的第1机构部，及由设置在前述第1机构部的2个前述平移自由度部中的一个上的电动机、检测出作为被检测体的该机构部的动作量的动作量检测器及接收指令信号控制前述电动机的控制器构成的电动机控制装置构成，至少具备2组前述驱动机构即前述一轴驱动平移旋转机构，在前述工作台的旋转移动中心还具备具有1个前述旋转自由度部和1个前述平移自由度部的第2机构部，前述一轴驱动平移旋转机构在具备向前述控制器发送动作指令的指令装置的同时，通过使前述电动机向平移方向进行动作，可使前述工作台进行一个方向的平移移动或旋转移动。