[发明专利]包含磁性感应粒子的抛光垫及其使用方法无效
| 申请号： | 200680022413.3 | 申请日： | 2006-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN101203355A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 罗纳德·迈尔斯;阿巴内什沃·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/14;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种包含可变形抛光垫主体及分散于其中的磁性感应粒子的抛光垫，其中当存在外加磁场时，该抛光垫的一种或多种性质得以改变。本发明进一步提供包括这种抛光垫的抛光系统和抛光基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 磁性 感应 粒子 抛光 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，包含可变形抛光垫主体及分散于其中的磁性感应粒子，其中当存在外加磁场时，该抛光垫的一种或多种性质被改变。
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