[发明专利]具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配系统

摘要

本发明公开了用于储存和分配化学试剂和组合物，例如用于制造微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光剂的流体供应系统，该流体供应系统具有在分配操作期间在所容纳的液体处于或接近耗尽时检测空或接近空的情形的能力。本发明描述了采用空检测检测布置的流体递送系统，其包括压力传感器，用于监控在供料包装和液压伺服分配泵中间分配的材料，或监控在周期进度表上被补充的分配器中的分配室补充次数，以将材料从分配器流到利用所分配的材料的下游设备。

主权项

1.一种流体储存和分配的系统，包括：具有内部容积的容器；在所述内部容积中的衬里，布置用于在零或近零顶空构造中容纳液体介质；适于与所述容器配合的分配组件，用于在分配操作期间将液体介质从所述衬里中排出；以及集成流量计，布置用于监控在分配操作期间从所述衬里排出的所述液体介质，以及用于产生在出现空检测状况时的与空检测状况相关联的输出。