[发明专利]快速节能的腔抽气有效
| 申请号： | 200680023407.X | 申请日： | 2006-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN101213370B | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | J-L·里瓦尔 | 申请（专利权）人： | 阿尔卡特朗讯公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B49/20;F04D19/04;F04D27/02;F04B41/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;李峥 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空抽气装置，包括串联连接的至少一个主泵(1)和一个辅泵(2)，所述主泵(1)和辅泵(2)分别由第一电动机(1b)和第二电动机(2b)驱动，所述第一电动机(1b)和第二电动机(2b)由各自的电源(1c，2c)供电，所述电源(1c，2c)由处理器和在存储器(3b)中记录的程序监控。在所述存储器(3b)中记录的所述程序产生所述主泵(1)的有规律地降低的速度变化规律(A)以及所述辅泵(2)的有规律地增加的速度变化规律(B)，以在最大化抽气速度的同时降低能量消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 节能 腔抽气 | ||
【主权项】：
一种用于降低腔(100)中压力的真空抽气方法，至少一个主泵(1)和一个次泵(2)在抽吸气体的流动路径中串联连接，并分别由第一电动机和第二电动机以相同旋转方向驱动，所述次泵(2)具有与所述腔(100)连接的入口并排放到所述主泵(1)的入口中，所述第一电动机和第二电动机由电子控制模块控制，以独立地修改所述两个电动机的速度，其特征在于，在降低所述腔(100)中的压力期间，包括至少一个步骤，即根据所述次泵(2)的旋转速度变化规律(B)逐渐增加所述次泵(2)的旋转速度(V2)，同时根据所述主泵(1)的旋转速度变化规律(A)逐渐降低所述主泵(1)的旋转速度(V1)。
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