[发明专利]偏振镜的加工方法及其在偏振敏感的光传感器和起偏显像装置上的应用有效
| 申请号： | 200680024689.5 | 申请日： | 2006-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101218522A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 京特·格劳 | 申请（专利权）人： | 京特·格劳 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;H01L31/0232;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 苏娟 |
| 地址： | 德国多*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于加工偏振敏感的或偏振的滤镜的方法及其在用于测量入射光偏振的偏振敏感的光传感器上的应用，还涉及用于测量旋转角和强的电场或磁场的偏振敏感传感器的设计方式以及用于还原偏振信号或再现独立信号的起偏显像装置和起偏显像装置的设计方式。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振镜 加工 方法 及其 偏振 敏感 传感器 显像 装置 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于加工偏振敏感的具有期望的扩展和定向的滤镜的方法，其特征在于，通过光刻方法在至少一个加工平面和/或布线平面中产生光栅结构，该光栅结构的几何结构和定向事先通过掩膜数据图纸确定，其中优选只使用在设计集成电路时常见的结构参数和加工步骤。
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