[发明专利]具备复合天线线圈组的等离子体反应装置有效
| 申请号： | 200680025252.3 | 申请日： | 2006-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN101218859A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李元默 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄威;徐金伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具备复合天线线圈组的等离子体反应装置。这种等离子体反应装置包括：反应室，其上部设置有圆柱状介电窗，且通过等离子体反应来处理晶片；复合天线线圈组，其设置于所述介电窗的外部及上部，用于产生射频磁场(RF magnetic field)，且通过所述介电窗向所述反应室内施加射频磁场，藉以诱导射频电场(RF electricfield)；射频电源供给单元，其用于向所述反应室下部(放置晶片的支架)及复合天线线圈组供给射频电源(Radio Frequency)，以使反应室下部(Wafer and Pedestal)保持负电位带电状态，并使所述复合天线线圈组产生时变的磁场。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 复合 天线 线圈 等离子体 反应 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体反应装置，其特征在于包括：反应室，其上部设有圆柱状介电窗，且通过等离子体反应来处理晶片；复合天线线圈组，其设置于所述介电窗的下部及上部，用于产生射频磁场，并通过所述介电窗对所述反应室内施加射频磁场，藉以产生射频电场；以及射频电源供给单元，其使所述复合天线线圈组产生时变的磁场。
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