[发明专利]新型有机底部抗反射聚合物组合物无效
| 申请号： | 200680026014.4 | 申请日： | 2006-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN101223205A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 姚晖蓉;李丁术季 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | C08G18/66 | 分类号： | C08G18/66;C08G18/38;G03F7/09;C09D175/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杨立芳 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及底部抗反射涂料组合物，可用于制造这种组合物的聚合物，和它们用于通过在反射性基材和光致抗蚀剂涂层之间形成薄层进行图像处理的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 有机 底部 反射 聚合物 组合 | ||
【主权项】：
1.包含以下重复单体的聚合物：(a)O＝C＝N-R1-N＝C＝O和(b)R2(OH)j 以及，任选的(c)化合物，该化合物选自：(c1)H(OR4)nOH和(c2)R3(OH)2 其中R1、R2和R3中的每一个独立地是未取代或取代的脂族、芳族、脂环族或杂环多价基团；R4选自-CH2CH2-、-CH2CH(CH3)-和-CH2CH2CH2CH2-；j是3-6的整数，包括两个端点；n是1-30的整数，包括两个端点；(a)∶(b)+(c)的当量比是1∶1，并且当存在(c)时，(c)∶(b)的当量比为大约1∶4-大约4∶1。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于AZ电子材料美国公司，未经AZ电子材料美国公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680026014.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
