[发明专利]具有大孔径和平面端面的投影物镜有效
| 申请号： | 200680029692.6 | 申请日： | 2006-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN101243360A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | S·贝德;W·辛格;K·－H·舒斯特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种适合于微光刻投影曝光机的投影物镜，其用于将该投影物镜的物平面(OP)中提供的图案成像到该投影物镜的像平面(IP)上，其具有多个光学元件，其对于该投影物镜的工作波长处的辐射是透明的。至少一个光学元件(LOE1，LOE2)是由在工作波长处折射率n≥1.6的高折射率材料制成的高折射率光学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 孔径 平面 端面 投影 物镜 | ||
【主权项】：
1.适合于微光刻投影曝光机的投影物镜，其用于将该投影物镜的物平面中提供的图案成像到该投影物镜的像平面上，该投影物镜包括：多个光学元件，所述光学元件对于在该投影物镜的工作波长处的辐射是透明的；其中至少一个光学元件是由在工作波长处折射率为n≥1.6的高折射率材料制成的高折射率光学元件。
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