[发明专利]氧化锌系透明导电膜的图案化的方法无效
| 申请号： | 200680032984.5 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101258584A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 高桥诚一郎;田平泰规;高桥广己;宫下德彦;矢野智泰 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供可以调整氧化锌系透明导电膜的蚀刻速率、提高图案化特性的氧化锌系透明导电膜的图案化的方法。通过蚀刻以氧化锌作为主成分、含有从周期表第IV族的元素中选择的至少1种的添加元素的氧化锌系透明导电膜图案化时，在上述蚀刻工序之前利用水处理上述氧化锌系透明导电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 透明 导电 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌系透明导电膜的图案化的方法，其特征在于，通过蚀刻使以氧化锌作为主成分、含有从周期表第IV族的元素中选择的至少1种添加元素的氧化锌系透明导电膜图案化时，在上述蚀刻工序之前利用水处理上述氧化锌系透明导电膜。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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