[发明专利]抛光台板和抛光装置无效
| 申请号： | 200680033457.6 | 申请日： | 2006-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101262982A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 小林卓二;相泽英夫;梅本正雄;曾根忠一;鸟居弘臣;高桥信行;都筑隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏;邵伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光台板，其无需很大的力来从抛光台板的上表面移除抛光垫并且因此能相对地易于从其上移除抛光垫。本发明还提供一种具有这种抛光台板的抛光装置。根据本发明的抛光台板(12)包括抛光垫附着在其上面的表面。抛光台板(12)的所述表面包括第一表面(20)以及表面粗糙度与第一表面(20)不同的第二表面(21)的组合。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种抛光台板，包括：抛光垫附着在其上的表面，所述表面包括第一表面以及表面粗糙度与所述第一表面不同的第二表面的组合。
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