[发明专利]成膜装置、蒸发夹具及测定方法无效
| 申请号： | 200680034477.5 | 申请日： | 2006-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101268210A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;松冈孝明;中山尚三;伊藤日艺 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东北大学;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够长时间均匀地成膜薄膜，特别是有机EL膜的蒸发夹具及包含蒸发夹具的成膜装置。蒸发夹具具备：蒸发皿，该蒸发皿具有底面和由该底面立设的侧面，用于对开口于侧面内部的原料收纳空间进行规定；用于将该原料收纳空间分割成多个分空间的隔板。另外，在隔板上设有卡止片，该卡止片具有用所述蒸发皿的底面侧连通所述多个分空间的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 蒸发 夹具 测定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，其通过气化机构使原料气化，将该气化后的原料供给到基板上，在所述基板上形成规定材料的膜，其特征在于，所述气化机构具有具备开口和底面的容器，在该容器上具有在从所述开口朝向所述底面的方向上延伸的间隔构件。
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