[发明专利]用于检测主体运动的系统无效
申请号: | 200680034542.4 | 申请日: | 2006-09-13 |
公开(公告)号: | CN101268337A | 公开(公告)日: | 2008-09-17 |
发明(设计)人: | R·G·克拉弗;T·A·M·鲁尔;M·J·M·伦肯斯;J·范埃克 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G01D5/38 | 分类号: | G01D5/38;G03F9/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李亚非;谭祐祥 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本发明涉及一种用于检测主体(2)的运动的系统(1),包括接合到所述主体的第一延伸光栅条带(4)和与所述第一延伸光栅条带交叉的单独的并且基本上固定的第二延伸光栅条带(5)。该系统还包括光学检测机构(6),该光学检测机构(6)被设置成接收在所述第一延伸光栅条带和第二延伸光栅条带衍射的一个或多个光束来检测所述主体的运动。该发明还涉及一种用于检测主体(2)的运动的方法和一种主体处理或检查系统。 | ||
搜索关键词: | 用于 检测 主体 运动 系统 | ||
【主权项】:
1.一种用于检测主体(2)的运动的系统,包括接合到所述主体的第一延伸光栅条带(4)和与所述第一延伸光栅条带交叉的单独的并且基本上固定的第二延伸光栅条带(5),其中所述系统还包括光学检测机构(6),所述光学检测机构(6)被设置成接收在所述第一延伸光栅条带和第二延伸光栅条带处被衍射的一个或多个光束来检测所述主体的运动。
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