[发明专利]在常压下连续化学气相沉积的设备和方法及其用途

摘要

本发明涉及用于在常压下在基材上连续化学沉积的设备和方法。所述设备基于反应室，沿所述反应室的开口侧引导基材，因此可以在基材面向室内部的侧面进行相应的涂覆。

主权项

1.一种用于在基材上在常压下连续化学气相沉积的设备，所述设备包括具有在两个相对的侧的开口的反应室，沿着所述开口侧可以在密封所述反应室的同时传送待涂覆的基材，所述反应室分别具有相对于所述基材传送方向的前侧壁和后侧壁，所述前侧壁和后侧壁通过两个相对设置的侧壁连接，其特征在于，所述侧壁至少分别具有两个处理气体入口和两个处理气体出口，所述处理气体入口和处理气体出口至少局部交替地布置在所述传送方向上。