[发明专利]检查装置及检查方法有效
| 申请号： | 200680036279.2 | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101278181A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 坂口能一;并木兴治 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司;日本先锋自动化公司 |
| 主分类号： | G01M3/40 | 分类号： | G01M3/40 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查装置，其可准确地进行小型压电元件用封装的气密检查，其检查时间可比一般的检查装置更短，其可使检查装置比较小型化，其可在短时间内检查较大量的被检查对象的压电元件用封装。检查装置(1)是对气密密封有压电元件的电子元件(压电元件用封装)(2)进行气密检查的检查装置，其具有：加压部(1401)(加压室(140)、加压装置(146))，其在开合自如的加压室(1401)内设置有压电元件用封装(2)的状态下，对该压电元件用封装(2)的周围加压；测定部(145)，其对设置于加压部(加压室(140)、加压装置(146))的压电元件用封装2的阻抗进行测定；判别部(171)，其根据通过测定部(145)测定的非加压时和加压时的阻抗计算出变化量，将该变化量与设定值进行比较，判别电子元件的气密性为不良。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，它是对气密密封有压电元件的电子元件进行气密检查的检查装置，其特征在于，该检查装置具有：加压部，其在开合自如的加压室内设有上述电子元件的状态下，对该电子元件周围加压；测定部，其对设置于上述加压部的上述电子元件的阻抗进行测定；判别部，其根据通过上述测定部测定的非加压时与加压时的阻抗计算出变化量，将上述变化量与设定值进行比较，判别上述电子元件的气密性为不良。
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