[发明专利]抛光刷,抛光方法,抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 200680036280.5 申请日: 2006-09-28
公开(公告)号: CN101277790A 公开(公告)日: 2008-10-01
发明(设计)人: 鹿岛隆一;植田政明;重田文彦 申请(专利权)人: HOYA株式会社
主分类号: B24D13/10 分类号: B24D13/10;B24B9/00;B24B29/00;G11B5/84
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 史雁鸣
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种抛光刷,所述抛光刷用于一面向中心部具有圆孔的圆盘状的玻璃基板的内周侧端面部分上供应抛光液,一面使抛光刷与前述玻璃基板的内周侧端面接触旋转进行抛光的抛光方法。该抛光刷(20),相对于其轴心(21)大致正交的方向上突出设置毛状材料(22),两个外径D1、D2不同的部分在轴向方向上交替地排列配置,同时,构成其小直径D2的部分的毛状材料的硬度比构成大直径D1的部分的毛状材料的硬度大。为此,用树脂加固构成抛光刷(20)中的小直径D2的部分的毛状材料。
搜索关键词: 抛光 方法 装置 磁盘 玻璃 制造
【主权项】:
1.一种抛光刷,所述抛光刷用于一面向中心部具有圆孔的圆盘状的玻璃基板的内周侧端面部分供应抛光液,一面使抛光刷与前述玻璃基板的内周侧端面接触并旋转以进行抛光的抛光方法,其特征在于,前述抛光刷,相对于其轴心在大致垂直的方向上突出地设置毛状材料,排列配置两个外径不同的部分,同时,其形成直径小的部分与形成直径大的部分相比,毛状材料的硬度大。
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