[发明专利]四氟化硅的制造方法、以及用于其的制造装置有效
| 申请号： | 200680036906.2 | 申请日： | 2006-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101291875A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 永野贡;守谷武彦;胁雅秀;宫本和博 | 申请（专利权）人： | 斯泰拉化工公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供制造四氟化硅时可降低制造成本以及减少废弃物量的四氟化硅的制造方法、以及用于其的制造装置。其特征在于，具有如下工序：高二氧化硅氟硅酸生成工序(a)，其通过包含二氧化硅的原料1、与包含氢氟酸和氟硅酸的混合液反应，生成高二氧化硅氟硅酸水溶液；四氟化硅生成工序(c)，通过使前述高二氧化硅氟硅酸水溶液与硫酸反应，生成四氟化硅；硫酸生成工序(d)，通过对前述四氟化硅生成工序(c)中副生成的含氟化氢的硫酸进行水蒸气蒸馏，生成硫酸。前述四氟化硅生成工序(c)中，将前述硫酸生成工序(d)中生成的前述硫酸再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 制造 方法 以及 用于 装置 | ||
【主权项】：
1.四氟化硅的制造方法，其特征在于，具有如下工序：高二氧化硅氟硅酸生成工序，其通过包含二氧化硅的原料、与包含氢氟酸和氟硅酸的混合液反应，生成高二氧化硅氟硅酸水溶液；四氟化硅生成工序，其通过使前述高二氧化硅氟硅酸水溶液与硫酸反应，生成四氟化硅；硫酸生成工序，通过对前述四氟化硅生成工序中副生成的含氟化氢的硫酸进行水蒸气蒸馏，生成硫酸，在前述四氟化硅生成工序中，再利用前述硫酸生成工序中生成的前述硫酸。
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