[发明专利]微腔MEMS器件及其制造方法有效
| 申请号： | 200680038047.0 | 申请日： | 2006-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101496220A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 路易斯·C·许;L·A·克莱温格;T·J·达尔顿;C·J·雷登斯;凯斯·洸·汉·黄;杨智超 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郭 放 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEM开关，具有在微腔(40)内自由移动的元件(140)，并被至少一个电感元件所引导。开关包括：上电感线圈(170)；非必需的下电感线圈(190)，每个电感线圈都具有优选地由透磁合金制成的磁芯(180，200)；微腔(40)；和自由移动的开关元件(140)，该开关元件也由磁性材料制成。通过使电流流过上线圈，在线圈元件中感应出磁场来实现开关。磁场向上吸引自由移动的磁性元件，将两根开路的导线(M_l，M_r)短路，从而闭合开关。当电流停止或反向时，自由移动的磁性元件由于重力而落到微腔的底部，并且将导线开路。当无法利用重力时，就必需有下线圈，以拉回自由移动的开关元件并将它保持在其原来位置。 | ||
| 搜索关键词： | 微腔 mems 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种由衬底支撑的微电子机械(MEM)开关，包括：在所述衬底中的空腔(40)；由至少一个电感元件(170，190)激励、在所述空腔(40)内自由移动的开关元件(140)，其中在第一位置，所述开关元件(140)将两个导电元件(M_l，M_r)电耦合，而在第二位置，所述开关元件与所述两个导电元件(M_l，M_r)分离开。
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