[发明专利]原子探针、原子探针样本和相关方法

摘要

本发明大体上涉及原子探针、原子探针样本和有关方法。例如，特定方面涉及用于分析样本的一部分的方法，该方法包括：选择感兴趣区域，以及在与感兴趣区域邻近的邻接区域中移动一部分材料，以使感兴趣区域的至少一部分相对于邻接区域的至少一部分突出。该方法还包括分析感兴趣区域的一部分。本发明的其它方面涉及一种通过使光子能量通过与光子设备分离且与光子设备隔开的透镜系统来在原子探针探测过程中施加光子能量的方法。本发明的其它方面涉及一种从电极的外表面将光子能量反射到样本上的方法。

主权项

1.一种准备样本的一部分以用于在原子探针中进行分析的方法，包括：将具有表面的样本放置在原子探针中；选择所述表面上的感兴趣区域，所述表面具有与感兴趣区域的至少一部分邻接的邻接区域；以及在样本位于原子探针中时移动邻接区域中的一部分材料，以使感兴趣区域的至少一部分相对于邻接区域的至少一部分突出。