[发明专利]小型倾斜振动传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种小型倾斜振动传感器及其制造方法。该倾斜振动传感器内装有多个电极和导电性球体，利用该球体的移动位移进行接通、断开动作，具体提供一种可大幅度地小型化，并且性能、工作灵敏度较高，且具有耐久性及高可靠性的小型倾斜振动传感器及其制造方法。传感器的壳体主体(1)由壳体主体(5)和气密地封闭该壳体主体的开口部(6)的盖体(7)构成，该壳体主体与盖体分别由可阻止会对由导电性球体的移动位移进行的接通、断开动作带来不良影响的气体透过的、气体屏障性及耐热性优良的非导电性材料形成，及从上述壳体(1)的空洞部(2)内除去会对接通、断开动作带来不良影响的水分及粒子状的杂质，且使该空洞部内成为真空。

主权项

1.一种小型倾斜振动传感器，包括有：壳体，其由具有在上表面开口的空洞部的壳体主体和可气密地封闭该空洞部开口的盖体构成；电极，其由等间隔相邻地配置于上述空洞部周壁面上的至少4个以上的导电性覆膜构成；平面电极，其由设置于该空洞部底面上的1个导电性覆膜构成；导电性球体，其可自由移动地收纳于该空洞部内，作为电气性接点使任意2个上述电极或相邻的上述电极中的任意1个与上述平面电极相接触，当上述壳体发生倾斜振动时，该导电性球体会随之移动，利用该移动进行接通、断开动作，其特征在于，上述壳体主体与上述盖体分别由气体屏障性及耐热性优良的非导电性材料形成，及从上述空洞部内除去会对由上述球体摇动进行的接通、断开动作带来不良影响的水分及微细尘埃等的粒子状杂质，且使上述空洞部内成为真空。